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近日，微电子薄膜工艺方案解决商昶火微科完成A轮融资，融资金额未透露，由同威资本独家投资。

上海昶火微电子科技有限公司成立于2021年4月，位于上海临港。公司致力于开发半导体硅基纳米薄膜生长工艺解决方案，是国内专注于大面积平板镀膜装备研发制造企业，主要解决光伏异质结太阳能高效电池所需的纳米级非/微晶硅薄膜，液晶面板TFT lcd所需的低温非晶硅薄膜，柔性oled显示所需低温氮化硅薄膜，以及光学等其他行业所需的微电子薄膜。

作为微电子薄膜技术领域专家，昶火微科在基于大面积薄膜领先技术优势下，在异质结及钙钛矿叠层电池核心工艺装备研发方面取得了重大进展，针对异质结及钙钛矿叠层高效电池的痛点开发了行业所需的运行高效、工艺灵活的大面积团簇式PECVD真空复合镀膜装备，具备完全自主知识产权。

据介绍，该装备利用簇型并行工艺的逻辑，解决异质结钙钛矿叠层的多层薄膜多种工艺的节拍不匹配性问题；利用低温镀膜解决低温叠层的材料的温度匹配性问题，同时具备2200mm*2600mm超大面积均匀镀膜的能力。同时昶火微科聚焦基础镀膜科技技术，扩展储备技术包括柔性OLED及半导体封装等领域。

目前，昶火微科研发的大面积团簇式PECVD真空复合镀膜装备已经开始了量产，将为HJT+钙钛矿叠层技术发展增添一股强劲动力，为未来HJT叠层电池量产铺平道路。